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FFU 是什麼？風機濾網機組主要功能、工作原理大解析

FFU 廣泛應用於各種需要高潔淨環境的產業，其中包括半導體製造，用於確保晶圓生產過程免受微塵干擾；光電產業，以維持顯示面板與光學元件的製程品質；生技醫藥領域，保障無菌條件並降低產品污染風險；以及食品加工產業，透過降低微生物與粉塵污染來提升食品安全。此外，其他任何需要潔淨氣流支持的高科技製程，也都適合採用 FFU 以確保穩定的生產環境。

FFU 風機濾網機組主要包含以下 4 個功能：

1. 高效空氣過濾：FFU 透過 HEPA 或 ULPA 濾網，能有效濾除空氣中 0.3 微米甚至更小的顆粒，確保潔淨室維持高品質環境。
2. 穩定氣流循環：設備內建風機可調節風速，使氣流在室內形成穩定、均勻的單向流，避免渦流產生灰塵堆積。
3. 污染控制與正壓維持：FFU 持續送入潔淨空氣，保持室內正壓，防止外部污染物滲入，降低產品缺陷率。
4. 溫濕度協助調節：雖然主要功能是過濾，FFU 也能輔助無塵室 HVAC 系統控制室內溫濕度，確保製程穩定。

FFU 風機濾網機組的工作原理與結構

在無塵室的空調系統中，常見 MAU + FFU + DCC 協同運作的組合（簡稱 FFU 系統）。

• MAU（Make-up Air Unit，外氣空調箱）：主要負責處理外部空氣，控制露點並產生潔淨氣流，同時維持室內正壓，以防止外部污染物滲入。
• DCC（Dry Cooling Coil，乾式冷卻盤管）：則專門用於室內溫度調節，並有效消除人員或設備所產生的熱能，確保環境穩定。
• FFU（Fan Filter Unit，風機濾網機組）：是最終氣流處理的重要設備。FFU 由送風機、箱體結構及高效濾網（HEPA/ULPA）組成。其運作原理是，風機先將空氣吸入，再通過高效濾網過濾，攔截空氣中的微粒、粉塵及細菌等污染物，最後將潔淨氣流均勻送入室內，形成穩定的單向流場，並持續循環，保持空氣潔淨度符合 ISO 標準。

FFU 的另一項特點是模組化設計與獨立驅動。每台 FFU 都可以單獨運作，也能靈活組合配置，不依賴中央空調系統即可達成高效過濾。這種設計簡化了潔淨室的空調佈局，降低建置與維護成本，同時提高運行效率與能源利用率。

FFU 風機濾網機組 4 大優勢

FFU 風機濾網機組不僅在潔淨度控制上表現優異，其設計更兼顧節能、靈活與耐用性。隨著各產業對能源效率及環境永續的重視日益增加，FFU 所具備的多項優勢，使其成為現代無塵室及高科技生產線不可或缺的設備。

1. 高能源效率

現代 FFU 採用直流無刷馬達（ECM）及低阻力濾網，降低能耗高達 30~50%，大幅減少長期運行成本。

2. 環境友好

低耗能意味著減少碳排放，符合綠色工廠、永續生產的趨勢，尤其對半導體及生技業具重大意義。

3. 模組化靈活設計

單台 FFU 可獨立控制，維護與更換濾網簡單快速，並能依產線需求隨時調整佈局。

4. 高穩定性與低噪音

先進設計確保長時間運行仍保持低噪音（通常 <50dB）及高效過濾，提升員工工作舒適度。

FFU 風機濾網機組類型有哪些？

FFU 風機濾網機組根據馬達類型、濾網效率、箱體材質、維護方式及特殊功能等特性，可分為以下幾大類型，企業可依無塵室等級及應用需求進行選擇。

1. 依馬達與風機類型

• 直流無刷馬達（ECM）型：具備可變速控制，運行穩定且高效節能，適合長時間運轉與需要精細氣流調控的環境。
• 交流馬達（AC）型：初期建置成本較低，結構簡單，適用於運行條件較為固定的產線，但能耗相對較高。

2. 依濾網效率

• HEPA 型：濾除 0.3 微米以上粒子效率達 99.97%，適用於多數電子與光電產業潔淨室。
• ULPA 型：濾除效率可達 99.999%，滿足更高等級（如 ISO 3–5）潔淨室需求，應用於半導體與精密醫療製程。

3. 依濾網更換方式

• 頂側更換型：需從天花板上方更換濾網，適合有吊頂維護空間的場所。
• 室內側更換型（RSR）：可直接從潔淨室內操作，維護更方便且安全性高。

4. 依箱體材質

• 粉體塗裝鋼板型：成本低、外觀整潔，適用於一般製造環境。
• 不鏽鋼型：耐腐蝕性高、易於清潔，特別適合生技、醫療等對衛生要求高的產業。

5. 依尺寸規格

FFU 尺寸多樣，包括 2’×2’、2’×3’、2’×4’ 等標準型號，也有小型化產品適用於高度受限或局部潔淨區域。

6. 依特殊功能

• 智能型 FFU：內建監控系統，可遠端檢測風速、壓差與濾網壽命，並自動調整運行參數。
• 低噪音型：專為降低噪音與震動設計，提升工作環境舒適度。
• 附加功能型：可整合照明、靜電消除或紫外線殺菌功能，滿足特殊製程需求。

FFU 風機濾網機組如何挑選？

在為無塵室選購 FFU 風機濾網機組時，不能只看價格或品牌，更需要全面評估其結構組成與運作特性，才能確保設備在長期使用中維持穩定效能，並符合產線對潔淨度的嚴格要求。以下提供幾個面向可作為挑選依據：

風機

風機是 FFU 的核心動力來源，直接影響風量輸出及能源效率。常見的風機分為交流（AC）與直流（DC）兩種型式，前者建置成本較低，但耗能與控制精度略遜一籌；後者則擁有更佳的節能效果與可調性，雖然初期投資較高，卻能在長期運行中降低能耗與維護成本。企業應根據產線運作需求與預算，選擇適合的類型。

箱體材質

箱體材質不僅影響 FFU 的耐用性，也會反映在整體成本上。從鍍鋁鋅板、冷軋鋼板到不鏽鋼（如 SUS304、SUS316）都有不同選擇。高階材質具有更好的耐腐蝕性與結構穩定性，尤其在高濕或特殊化學環境中更為重要。

過濾器與濾網

過濾器與濾網是決定空氣潔淨度的關鍵。不同等級的濾網（如 H13 到 U15）提供不同的過濾效率，折景式、迷你折景式等結構設計也會影響氣流阻力及濾網壽命。過濾等級越高，成本雖然上升，但對高科技製程而言能帶來更可靠的污染控制。

其他附加因素

近年來，能源效率成為企業採購設備的重要指標，一款節能型 FFU 不僅能減少能源消耗與碳排放，也符合綠色工廠的永續發展目標。此外，FFU 在長時間運行下的噪音及震動控制，同樣會影響工作環境的舒適性與員工效率；而馬達與零件的耐用性則關乎維護成本與設備穩定性。

綜合來看，選購 FFU 應同時考量性能、能源效率、耐用性及操作舒適度，再搭配可靠的技術支援與售後服務，才能為產線建立一個高效、穩定且符合永續要求的潔淨空氣系統。